中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其处理方法”

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2025月05月10日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置及其处理方法”，专利申请号为CN202011535893.1，授权日为2025年5月9日。

中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其处理方法”
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专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，包括：反应腔；基台，其设置在所述反应腔中，所述基台中具有第一气体通道；多个第一气体供应源，所述多个第一气体供应源与第一气体通道连接，多个第一气体供应源中的任一个第一气体供应源与所述第一气体通道之间具有阀门；第二气体供应装置，其设置在所述反应腔中且与所述基台相对设置。本发明还公开了一种无晶圆清洗方法。

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今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

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数据来源：天眼查APP

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