微导纳米获得发明专利授权：“原子层沉积工艺方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“原子层沉积工艺方法”，专利申请号为CN202310850249.0，授权日为2025年10月3日。

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专利摘要：本申请公开了原子层沉积工艺方法。原子层沉积工艺方法包括：第一次阀门切换，将第一阀门切换为打开状态，并且将第二阀门切换为关闭状态。第一次工艺气体通入，通过第一进气道持续通入第一工艺气体。第一次清洁吹扫，通过第三进气道持续通入惰性保护气。第二次阀门切换，将第一阀门切换为关闭状态，并且将第二阀门切换为打开状态。第二次工艺气体通入，通过第二进气道持续通入第二工艺气体。第二次清洁吹扫，通过第三进气道持续通入惰性保护气。通过上述方式，本申请能够减少原子层沉积设备中粉尘的产生，减少管路堵塞和设备损伤。

今年以来微导纳米新获得专利授权57个，较去年同期增加了54.05%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息117条，专利信息549条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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