中微公司获得发明专利授权：“一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置”

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2025月11月09日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置”，专利申请号为CN202410750053.9，授权日为2025年11月7日。

中微公司获得发明专利授权：“一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置”
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专利摘要：本发明公开了一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置。该加热板包括：绝缘材料制成的基板，基板内包括加热层，所述加热层中包括多个独立可控的加热单元。本发明的驱动控制电路整体结构简单、成本低且响应速度快，使得加热板中完成一次加热循环的时间很短，减小每个加热单元的温度波动。

今年以来中微公司新获得专利授权139个，较去年同期增加了39%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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