华海清科获得发明专利授权：“一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202411148444.X，授权日为2026年2月6日。

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专利摘要：本申请实施例提供了一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备，气动组件包括：汇流阀板，其为包括基板和两个侧板的U型板，所述基板和两个所述侧板之间限定出装配区域，所述汇流阀板的内部具有正压通道和负压通道，所述正压通道具有一个正压进口和多个正压出口，所述负压通道具有一个负压进口和多个负压出口；多个集装阀座，多个所述集装阀座均位于所述装配区域内，且均设置至所述汇流阀板，多个所述集装阀座彼此平行，所述集装阀座的第一进口与所述正压出口直接对接，所述集装阀座的第二进口与所述负压出口直接对接。根据本申请实施例的气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备，提升气动组件的集成度，精简结构，降低空间占用。

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今年以来华海清科新获得专利授权5个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目257次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息794条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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